Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V., Institut für Mikro- und Informationstechnik, Villingen-Schwenningen
sensor mst sensors actuators mems quarz hsg mems-sensors microsystems microsystem mikromechanik microsystems-technology imit mikrosystemtechnik sensorik
-
Updated
Nov 4, 2024